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代就已布局半导体精密陶瓷业务,核心产品是半导体制造必备的静电卡盘,也就是晶圆加工环节用于固定硅晶圆的核心部件。 在芯片制造(如NAND闪存刻蚀工艺)中,静电吸盘用于在高温、强腐蚀、强电场环境下精准固定硅晶圆。它要求极高的平整度(精度可达头发丝的1/80)、纯度、耐热性和绝缘性,TOTO在这方面技术领先,纯度业界顶尖,形成了较强的技术壁垒。  
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发布时间:06:12:42